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乾蝕刻原理 在 科技產業資訊室 Facebook 的最佳解答
可附著在皮膚的穿戴式語音識別電子裝置
透過頸部皮膚的震動,精確識別聲音。
這種新型的皮膚震動感測器使用超薄聚合物,以及帶有微孔的隔膜所製作而成。製程包括,將犧牲層(sacrificial layer)、頂部電極、隔膜、和隔膜支撐元件,依序地沉積到乾淨的玻璃晶片上,然後蝕刻犧牲層,再將樣品與玻璃晶片分離,經過翻轉,最後轉移到具有底部電極的聚合物基板上。
由於其完全交聯的聚合物材料與隔膜微孔結構特性,該電子震動感測器在80-3400赫茲(Hz)的頻率範圍內,具有平坦的頻率響應(frequency response),包括標準電話頻帶(300-3400Hz),以及基本語音頻率範圍(80-255Hz)。
而作用於此皮膚電子震動感測器的原理,在於皮膚的震動加速度與聲壓間,存在著線性關係,因此皮膚的震動加速度可以作為一種適當的感測參數。簡單來說,當加速度越大,聲壓也越大。....
乾蝕刻原理 在 工研院產業學院 Facebook 的最佳貼文
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