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電子材料 - 第 145 頁 - Google 圖書結果

電漿蝕刻 是將反應氣體離子化成電漿,藉離子與待蝕刻薄膜進行化學反應,生成具揮發性( ... 電漿蝕刻反應的原理和步驟是將反應室抽真空,矽晶圓置於接射頻( RF )電源的電極( ...

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