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電漿表面改質及摻雜對LPCVD 氧化鋅膜效應之研究

Ar、N2 時，物體表面會有被蝕刻( etching ). 的效果，但近來對半導體薄膜之電漿表面. 處理，研究指出，電漿中的電子，光子亦. 會與受處理材料產生微細變化，在光電材.

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