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RELIANT蝕刻產品

蝕刻 技術可應用於所有的半導體元件製程中，用以建構出電晶體、接點(contact)和金屬導線等 ... 運用多步驟原位(in-situ)蝕刻與連續電漿功能，實現高生產力與低缺陷率 ...

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