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電漿蝕刻原理
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蝕刻製程
儀器負責人:黃宗鈺老師分機:4672 地點:電漿薄膜中心2館1F產學製程實驗室. 儀器原理:. 在半導體製程中,蝕刻(Etch)被用來將某種材質自晶圓表面上 ...
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