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乾式蝕刻 - NDCC

可分為濕式刻蝕(wet etching)和乾式刻蝕(dry etching)兩種技術。 电浆在工件表面发生反应,反应的挥发性副产物被真空泵抽走。 半導體的蝕刻可分為乾式蝕刻 ...

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