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乾式蝕刻

而其中大略可分為濕式蝕刻(Wet Etching)與乾式蝕刻(Dry Etching)兩種技術。 乾式蝕刻是利用電漿，對底膜就是光阻，產生可進行蝕刻的活性種。 电浆在工件 ...

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