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電漿蝕刻原理
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乾蝕刻 - Galerie LTK
乾式蝕刻:透過電漿的解離,形成離子與物質表面進行化學反應或是物理轟擊,屬於非等向性的蝕刻。 ... 蝕刻:蝕刻原理,工藝流程,注意問題,_中文百科全書.
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