你即將離開本站

並前往http://140.127.114.187/download/%E5%BB%BA%E5%BE%B7%E7%A0%94%E7%A9%B6%E6%89%80%E8%B3%87%E6%96%99/%E7%94%B0%E5%8F%A3/%E7%94%B0%E5%8F%A3%E7%A4%BA%E7%AF%84/%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%94%E6%8F%90%E4%BE%9B%E6%AA%94%E6%A1%88/Chap9_%E8%9D%95%E5%88%BB.pdf

Chap9 蝕刻(Etching)

利用電漿，將反應氣體的分子，解離成對薄膜材質具反應. 性的離子，然後藉離子與薄膜間的化學反應，把暴露在電. 漿下的薄膜，反應成具揮發性的生成物，而後被真空系統. 抽離 ...

確定！ 回上一頁

查詢 「電漿蝕刻原理」的人也找了：

  1. 乾蝕刻原理
    2.
  2. 電漿蝕刻步驟
    3.
  3. 電漿蝕刻優點
    4.
  4. 電漿原理ppt
    5.
  5. 電漿原理
    6.
  6. 電 漿 產生器
    7.
  7. 電漿清洗原理
    8.
  8. 電漿蝕刻機
    9.