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高效COPRA ICP電漿源- 俊尚科技

德國CCR Technology的COPRA電漿源具備多種配置（直方形、環形、圓形、內置型）可 ... 離子輔助反應性濺鍍、電漿輔助化學氣相沉積、電漿表面改質與清潔、電漿蝕刻應用等.

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