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反應離子刻蝕 - 中文百科知識

分離： 氣體由電漿分離為可化學反應的元素； 擴散： 這些元素擴散並吸附到矽片表面； ... 工作原理. 圖1是反應離子刻蝕系統原理圖。通常情況下，反應離子刻蝕機的整個 ...

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