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電漿蝕刻原理
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等離子刻蝕機 - 華人百科
等離子刻蝕機,又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、電漿刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統等。等離子刻蝕,是幹法刻蝕中最常見的一種形式,其原理是暴露在 ...
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