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奇妙的電漿與電漿的應用 - 國家實驗研究院

... 就是電漿的應用，隨著科技日益進步電漿也廣泛的應用在半導體製造中，像薄膜沉積製程中的濺鍍、化學氣相沉積；蝕刻製程的乾式蝕刻與佈植技術方面，都是用電漿原理來 ...

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