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明志科技大學遠距教學課程教學計畫大綱

電漿 與薄膜科技. 1. 課程英文名稱 ... 了解薄膜成長原理與技術及電漿原理和應用. 一. 適合修習對象材料系不可修 ... 電漿濺鍍. 2. 1. 14. 電漿蝕刻.

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