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電漿蝕刻原理
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常見之常壓電漿(plasma)依照放電形式與結構的不同可以分 ...
(1)利用金屬電極直接放電的低電流噴射式電漿(Plasma Jet),(2)使用高電壓 ... 目前的應用包括了:表面改質、光阻去除、電漿蝕刻、液晶面板晶片貼合、 ...
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