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連續生產型超高頻電漿增強式鍍膜設備設計及其性能探討

可以圖4 所示之等效電路. 進行探討，電路系統由功率產生器、阻抗匹配器. (impedance matching box)、腔體所構成。 圖2. 帕森放電原理，不同氣體壓力對電壓關係圖. (5) 。

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