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電漿處理技術 - 材料世界網

自1960年以來，電子工業開始使用電漿技術用以沉積成長薄膜或蝕刻線路來製作 ... 本文將以電漿原理為主題，討論在材料與電子工業上之應用原理與範圍， ...

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