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電漿源原理與應用之介紹 - Scribd

現行電漿製路製造方面，舉凡不同材料薄膜的成長及電路的蝕刻 程多操作在低氣壓之輝光放電(mTorr 到百Torr)。而操皆普遍由電漿技術達成。另外在半導封裝及紡織業方

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