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第二章 感應耦合電漿蝕刻與AlGaN/GaN HEMT

本章我們將介紹氮化鎵之基本材料性質、閘極掘入工作原理與電漿蝕刻基. 本原理。 2.1 材料特性比較. 選擇電性元件材料最關切的幾件事包括：電子遷移率(electron.

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