你即將離開本站

並前往https://tpl.ncl.edu.tw/NclService/pdfdownload?filePath=lV8OirTfsslWcCxIpLbUfhqD9W-i3vsG-jxzIGhcS1y6WCKthJM0BJwybMA32u0v&imgType=Bn5sH4BGpJw=&key=M_dAvrJztK-AszgAYVjYCsJFVVDVBysjadUep7X2EL4eVVU9OyINO4qBZJhLTxWd&xmlId=0004732582

電漿蝕刻在VLSI製程之應用(一)

小結構,電漿蝕刻所面臨之挑戰包括:抗反射. 層之引進,更薄更高蝕刻敏感度之 ... 電漿蝕刻自1970年代被引進IC製程【1】以 ... 化矽之蝕刻討論,然而其原理可應用於其它不.

確定！ 回上一頁

查詢 「電漿蝕刻原理」的人也找了：

  1. 乾蝕刻原理
    2.
  2. 電漿蝕刻步驟
    3.
  3. 電漿蝕刻優點
    4.
  4. 電漿原理ppt
    5.
  5. 電漿原理
    6.
  6. 電 漿 產生器
    7.
  7. 電漿清洗原理
    8.
  8. 電漿蝕刻機
    9.