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電漿處理簡述 - 原晶半導體設備

電漿 處理簡述 · 電漿包含正離子、電子、中性氣體原子或分子、紫外線以及激發態氣體原子和分子，它們可以攜帶大量內能（電漿會發光是因為這些激發態中性粒子 ...

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