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電漿助長式化學氣相沈積系統簡介

在固態工程中,薄膜的製備扮演著一個很重要的. 角色,而化學氣相沈積法(Chemical Vapor. Deposition, CVD)是最被廣泛使用的薄膜製備方法。 化學氣相沈積是一種或多種的氣體 ...

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