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金屬氮化物之功函數調變研究 - 國立交通大學

氮化鎢經過高溫退火會產生氮氣脫附，加上氮. 化鎢功函數調變範圍不大，在目前半導體高溫製程上不太適用。 Page 3. ii. A Study on Work Function Modulation of. Metal ...

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