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低介電常數碳氧化矽阻障層與銅金屬整合之電性可靠度研究

由 柯依秀 著作 · 2003 — 本論文探討三種電漿輔助化學氣相沈積法成長之低介電常數碳氧化矽(silicon-oxycarbide， SiCO)阻障層與銅金屬整合之電性可靠度。論文首先探討這些低介電常數介電層的 ...

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