2. 注入硼的异常扩散有两种驱动力:Michell] 观察到界限非常明确的衰变时间,他. 的实验是,在没有Si+预注入的情况下,60kV,2x10cm的低浓度B+注入,在1000℃. 退火时,异常扩散在 ...
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