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退火方法
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微波和电炉加热快速退火中金薄膜的表面粗糙度变化和微观结构 ...
摘要比较了微波和电炉加热后退火Au薄膜的显微组织演变。分析薄膜表面粗糙度的波数谱,以通过退火表征其粗糙度变化。在两种方法中,随着退火温度的增加,薄膜微观结构的 ...
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