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第四章跨晶圓廠「製程整合知識庫」之應用

圖4-6、生產設備安裝及試產階段的工作流程. 資料來源：T 公司[2004]. 貳、建廠時所遭遇到的問題. 積體電路的廠房是屬於高科技廠房類別，新建之廠房包.

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