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【面板制程刻蚀篇】史上最全Dry Etch 分类 - 行家说

纯化学反应性蚀刻，则是利用各式能量源（RF，DC，microwave等）给予气体能量，产生电浆，进而产生化学活性极强的原(分)子团，原(分)子团扩散至待蚀刻物质 ...

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