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什麼是蝕刻(Etching)？ - Sherry's Blog

在IC晶片裝配時，四項需要蝕刻的材料是單晶矽、多晶矽、介電質（矽氧化 ... 乾式蝕刻利用化學氣體，經由物理蝕刻、化學蝕刻或兩者蝕刻的組合方式來將 ...

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