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刻蝕用到的氣體 - 每日頭條

一、矽的刻蝕刻蝕矽分為兩大類型，一類就是上文提到的博世工藝，採用鈍化和刻蝕兩種工藝循環進行；另外一種就是連續進行的工藝。但兩種類型的工藝氣體 ...

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