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G5型| EBARA CORPORATION

NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等 PFCs. CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等, 工程(倉庫)氣體

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