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半導體工業廢棄物處理創新技術與趨勢 - Semi.org

依污染源特性，空氣污染大約有三類：. 氧化擴散及化學蒸著沉積製程中，所使用具有毒性、可燃性之氣體。 蝕刻及清洗製程中所產生 ...

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