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常壓電漿束於矽蝕刻之應用 - 機械工業網

其中，電漿蝕刻（plasma etching）即為製作微結構之關鍵製程；電漿蝕刻 ... 而達到蝕刻目的，常見的電漿蝕刻矽晶圓製程乃通入含氟（fluorine）氣體， ...

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