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電漿表面改質技術 - 科普寫作網路平台- 國立自然科學博物館

這種蝕刻可以藉由純物理或物理合併化學的方式來產生。物理方式是讓電漿中的離子轟擊材料的表面將材料表面的物質撞飛。一般純物理的蝕刻會採用惰性氣體（不易與其他物質 ...

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