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蝕刻氣體
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https://www.merckgroup.com/tw-zh/news/merck-micron-collaborates-for-more-sustainable-gas-solutions.html
默克和美光聯手為半導體產業開發出更永續的氣體解決方案
默克與美光科技合作開發用於半導體製程的低全球暖化潛勢(GWP)氣體解決方案; 默克所提供的替代性蝕刻氣體已在美光科技進行實測.
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