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4、干法蝕刻(dry etch)原理介紹 - 人人焦點

物理蝕刻主要是用氬氣（Ar）轟擊wafer表面材料，由於Ar是惰性氣體，不會影響plasma的化學性質，物理蝕刻效果明顯。化學蝕刻主要用含碳氟 ...

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