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貴儀專區/電漿耦合室離子蝕刻系統 - 電機工程學系- 高雄大學

薄膜蝕刻，可蝕刻種類：. 絕緣體：SiO2，Si3N4，Al 2O3，.... 半導體： Si，Ge，GaAs，GaN，.... 透明導電膜 : ITO，ZnO，..(不包含金屬基材). 可通入氣體：Cl2、Ar、N ...

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