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蝕刻氣體_百度百科

氣體 工業名詞，蝕刻就是把基片上無光刻膠掩蔽的加工表面如氧化硅膜，金屬膜等蝕刻掉，而使有光刻膠掩蔽的區域保存下來，這樣便在基片表面得到所需要的成像圖形。

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