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蝕刻技術(Etching Technology)www.tool-tool.com

利用電漿將蝕刻氣體解離產生帶電離子、分子、電子以及反應性很強(即高活性)的原子團（中性基Radical），此原子團與薄膜表面反應形成揮發性產物，被 ...

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