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加速特徵相關的乾式蝕刻製程發展- 電子技術設計 - EDN Taiwan

SEMulator3D的可視蝕刻特徵提供了一種類似於在實際蝕刻腔室之蝕刻速率的建模方法... 在乾式蝕刻中，由於與氣體分子的碰撞和其他隨機熱效應，加速離子 ...

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