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SF6-O2氣體的非等向性矽蝕刻技術 - Airiti Library華藝線上圖書館

乾蝕刻 ； 非等向性 ； 黑色矽 ； dry etching ； anisotropic ； black silicon ... 本論文使用SF6-O2電漿氣體研究矽晶片的乾蝕刻特性。在室溫下，將O2加到SF6-O2氣體 ...

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