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基於電漿的原子層蝕刻是氣體以定量注入和離子轟擊的周期性蝕刻過程，並具有去除單個薄膜層、極低的損壞率等優點。 SYSKEY的系統可以精準的控制製程氣體與電漿製程，並 ...

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