蝕刻 技術可以分為濕蝕刻(wet etching)與乾蝕刻(dry etching)兩類。 ... 乾式蝕刻(又稱電漿蝕刻)是目前最常用的蝕刻方式,其以氣體作為主要的蝕刻媒介,藉由電漿能量 ...
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