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蝕刻技術

學反應，來移除蝕刻部份。被蝕. 刻的物質變成揮發性的氣體，經. 抽氣系統抽離。以活性離子蝕刻. 為例，就是利用電漿放電方式進. 行異向性蝕刻的方法。

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