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化學氣相沉積與介電質薄膜

其他氣體副產物從基片表面上脫附釋出. • 氣體副產物擴散過邊界層 ... 離子轟擊和在400 °C的加熱能可以導致物理. 吸附源材料的遷移 ... 氟自由基和反應室內薄膜反應.

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