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I305278專利名稱繞射光柵元件模仁及光柵元件之製造方法

本發明係有關一種繞射光柵元件模仁及光柵元件之製造方法，尤指一種結合全像干涉微影技術與電鑄加工技術，而製成金屬模仁，並使該金屬模仁可應用在微熱壓成形技術及軟式 ...

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