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第三代半導體製程
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化合物半導體成科技新戰場-工業技術與資訊月刊-出版品-新聞中心
目前第三代半導體已證實具有市場潛力與價值的材料主要有兩種:GaN及SiC。 ... 其製程與矽半導體類似,同樣必須經歷晶球、晶圓切磨拋、元件製作、 ...
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