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碳化矽長晶設備
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https://report.nat.gov.tw/ReportFront/PageSystem/reportFileDownload/C10203525/001
高功率元件單晶生長及檢測技術出國報告
日本開發碳化矽材料是以研究機構及學術界合作,當技術逐漸 ... 部及設備組裝工廠,碳化矽相關長晶設備亦在此處完成組裝測試。 任務執行日程表.
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