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奈米薄膜技術與應用 - 第 152 頁 - Google 圖書結果

為了提高碳化矽的發光效率,有研究者用類似於製造多孔矽的方法,用(六角結構 SiC )基板和碳離子植入單晶矽( Single crystalline silicon )基板後形成的碳化矽薄層製造出 ...

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