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Meta专利提出通过氢氮辅助化剂蚀刻AR高折射率光栅的方法

TiSiO.sub.x、SiC、ZnSe、InGaAs和GaP等。 ... 根据一个实施例，表面浮雕结构可包括基板和基板上的多个脊，以及两个相邻脊之间的多个凹槽。

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